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J-GLOBAL ID:200903048984568248

蒸着フイルム

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1991187573
Publication number (International publication number):1993033122
Application date: Jul. 26, 1991
Publication date: Feb. 09, 1993
Summary:
【要約】【目的】ガス遮断性が一層優れ、かつ、そのバラツキが極めて小さい酸化マグネシウム蒸着フィルムを提供する。【構成】酸化マグネシウムを窒素ガス等のプラズマ空間を通過させることにより、基材フィルムの少なくとも片面に結晶性を有する酸化マグネシウム薄膜を形成する。
Claim (excerpt):
基材フィルムの少なくとも片面に結晶性を有する酸化マグネシウム薄膜を形成したことを特徴とする蒸着フィルム。
IPC (4):
C23C 14/08 ,  B32B 9/00 ,  B32B 15/08 ,  C23C 14/20
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)
  • 特開昭61-193841
  • 特公平2-015382

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