ポジ型フォトレジスト組成物

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：萩野平 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999307317
Publication number (International publication number)：2001125272
Application date： Oct. 28, 1999
Publication date： May. 11, 2001
Summary：

【要約】【課題】高感度及び高解像力で、矩形形状を有するフォトレジストを与え、現像液への濡れ性が良好で現像欠陥が少なく、更に酸素プラズマエッチング工程での下層へのパターン転写時に寸法シフトが小さいポジ型レジスト組成物を得る。【解決手段】式(I)の繰り返し単位{M1は脂環式構造を形成するための原子団、nは1又は2、Lは単結合又はn+1価の連結基、R'、R''、R'''はアルキル基、フェニル基、トリアルキルシリル基又はトリアルキルシリルオキシ基}と、式(IIa)及び/又は(IIb)の繰り返し単位{Zは-O-又は-N(R3)-、X1、X2は-O-、-S-、-NH-又は-NHSO2-、A1、A2は単結合または2価の連結基、R1、R2は水素原子、シアノ基、水酸基、-COOH、-COOR5、-CO-NH-R6、アルキル基、アルコキシ基又は環状炭化水素基}を含有する酸分解性ポリマーを用いるポジ型フォトレジスト組成物。【化1】

Claim (excerpt)：

少なくとも下記一般式(I)で表される繰り返し単位と、下記一般式(IIa)及び(IIb)で表される少なくともいずれかの繰り返し単位とを含有する酸分解性ポリマーを用いることを特徴とするポジ型フォトレジスト組成物。【化1】式(I)中、M1は結合した2つの炭素原子(C-C)を含み、置換基を有していても良い脂環式構造を形成するための原子団を表す。nは1又は2を示す。Lは一方が環を形成する炭素原子に連結する、単結合またはn+1価の連結基を表す。R'、R''、R'''はそれぞれ独立に直鎖または分岐を有するアルキル基、フェニル基、トリアルキルシリル基またはトリアルキルシリルオキシ基を表す。【化2】式(IIa)及び(IIb)中、Zは酸素原子、-N(R3)-を表す。R3は水素原子、水酸基、直鎖もしくは分岐を有するアルキル基または-O-SO2-R4を表す。R4はアルキル基またはトリハロメチル基を表す。X1、X2は、それぞれ独立に酸素原子、イオウ原子、-NH-または-NHSO2-を表す。A1、A2はそれぞれ独立に単結合または2価の連結基を表す。R1、R2は、それぞれ独立に水素原子、シアノ基、水酸基、-COOH、-COOR5、-CO-NH-R6、置換されていても良いアルキル基、置換されていても良いアルコキシ基または置換されていても良い環状炭化水素基(環を形成する結合中にエステル基またはカルボニル基を有していても良い)を表す。R5は置換基を有していても良いアルキル基または置換基を有していても良い環状炭化水素基(環を形成する結合中にエステル基またはカルボニル基を有していても良い)を表す。R6は置換基を有していても良いアルキル基を表す。

IPC (15)：

G03F 7/039 601 , C08F222/06 , C08F222/12 , C08F222/40 , C08F232/04 , C08F232/08 , C08K 5/00 , C08L 35/00 , C08L 35/02 , C08L 45/00 , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 503 , G03F 7/004 504 , G03F 7/075 521 , H01L 21/027

FI (15)：

G03F 7/039 601 , C08F222/06 , C08F222/12 , C08F222/40 , C08F232/04 , C08F232/08 , C08K 5/00 , C08L 35/00 , C08L 35/02 , C08L 45/00 , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 503 A , G03F 7/004 504 , G03F 7/075 521 , H01L 21/30 502 R

F-Term (115)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA03 , 2H025AA04 , 2H025AA09 , 2H025AB15 , 2H025AB16 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BE07 , 2H025BE10 , 2H025CB08 , 2H025CB10 , 2H025CB34 , 2H025CB41 , 2H025CC03 , 2H025CC04 , 2H025CC20 , 2H025FA16 , 2H025FA41 , 4J002BH001 , 4J002BH021 , 4J002CH022 , 4J002CH052 , 4J002EB006 , 4J002ED027 , 4J002ED037 , 4J002EE037 , 4J002EH037 , 4J002EH059 , 4J002EH157 , 4J002EL057 , 4J002EN048 , 4J002EP017 , 4J002EQ016 , 4J002ER028 , 4J002EU026 , 4J002EU027 , 4J002EU028 , 4J002EU036 , 4J002EU048 , 4J002EU078 , 4J002EU118 , 4J002EU128 , 4J002EU138 , 4J002EU148 , 4J002EU186 , 4J002EU226 , 4J002EU238 , 4J002EV207 , 4J002EV236 , 4J002EV296 , 4J002FD206 , 4J002FD207 , 4J002FD312 , 4J002FD319 , 4J002GP03 , 4J100AJ09Q , 4J100AK32Q , 4J100AL34Q , 4J100AL36Q , 4J100AL39Q , 4J100AL41Q , 4J100AM32R , 4J100AM39Q , 4J100AM43Q , 4J100AM45Q , 4J100AM47Q , 4J100AR05P , 4J100AR09P , 4J100AR11P , 4J100AR11R , 4J100BA02P , 4J100BA03P , 4J100BA03Q , 4J100BA04Q , 4J100BA04R , 4J100BA05Q , 4J100BA06Q , 4J100BA11Q , 4J100BA11R , 4J100BA12Q , 4J100BA15P , 4J100BA15Q , 4J100BA15R , 4J100BA16P , 4J100BA16Q , 4J100BA16R , 4J100BA20P , 4J100BA20Q , 4J100BA34Q , 4J100BA34R , 4J100BA40Q , 4J100BA40R , 4J100BA51P , 4J100BA56Q , 4J100BA58Q , 4J100BA58R , 4J100BA59Q , 4J100BA72P , 4J100BA76P , 4J100BA80P , 4J100BB18Q , 4J100BC04Q , 4J100BC08Q , 4J100BC08R , 4J100BC09Q , 4J100BC12Q , 4J100BC12R , 4J100BC53Q , 4J100BC53R , 4J100CA04 , 4J100CA05 , 4J100JA38

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