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J-GLOBAL ID：200903049034521403

感光性樹脂組成物

Inventor： 森 哲 ,  松尾 雄一朗 ,  横島 実
Applicant, Patent owner： 日本化薬株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998286170
Publication number (International publication number)：2000112122
Application date： Oct. 08, 1998
Publication date： Apr. 21, 2000
Summary：

【要約】【課題】高解像度、高細線密着性の厚膜ファインパターンが得られる感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】酸価が95〜200mgKOH/g、Tg点が50〜120°Cで、重量平均分子量が10,000〜200,000のベースポリマー(A)、ジペンタエリスリトールポリアルコキシレートペンタ及び/又はヘキサ(メタ)アクリレート(B)、光重合開始剤(C)及び任意成分として(B)成分以外のエチレン系不飽和化合物(D)を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。

Claim (excerpt)：

酸価が95〜200mgKOH/g、Tg点が50〜120°C、重量平均分子量が10,000〜200,000のベースポリマー(A)、ジペンタエリスリトールポリアルコキシレートペンタ及び/又はヘキサ(メタ)アクリレート(B)、光重合開始剤(C)及び任意成分として(B)成分以外のエチレン系不飽和化合物(D)を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (3)：

G03F 7/027 502 ,  G03F 7/004 512 ,  G03F 7/032

FI (3)：

G03F 7/027 502 ,  G03F 7/004 512 ,  G03F 7/032

F-Term (14)：

2H025AA01 ,  2H025AA03 ,  2H025AA14 ,  2H025AA16 ,  2H025AB11 ,  2H025AB15 ,  2H025AD01 ,  2H025BC14 ,  2H025BC31 ,  2H025BC43 ,  2H025CA00 ,  2H025CB51 ,  2H025CB55 ,  2H025CB60