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J-GLOBAL ID：200903049051078874

基板受け渡しシステム

Inventor： 出口 洋一 ,  出口 雅敏
Applicant, Patent owner： 東京エレクトロン株式会社
Agent (1)： 大森 純一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001038807
Publication number (International publication number)：2002246434
Application date： Feb. 15, 2001
Publication date： Aug. 30, 2002
Summary：

【要約】【課題】 基板の受け渡しを行う各装置の中央制御装置に負担をかけることもなく、また汎用性の高い基板受け渡しシステムの提供。【解決手段】 ステージセンサ205、第1及び第2のアクセスセンサ206、208から同期して同時出力される信号により、各中央制御装置209、210が搬送装置126、207のインステージ202へのアクセスを規制しているので、これらの中央制御装置209、210に負担をかけることもない。また、信号のオン・オフだけでそのような制御を行うことができるので、汎用性も非常に高いものとなる。

Claim (excerpt)：

第1の装置から第2の装置へ基板の受け渡しを行う基板受け渡しシステムにおいて、前記第1の装置及び前記第2の装置のうち一方に設けられ、基板の受け渡しのために基板が一旦保持される領域と、前記第1の装置に設けられ、前記領域にアクセス可能な第1の基板搬送装置と、前記第2の装置に設けられ、前記領域にアクセス可能な第2の基板搬送装置と、前記領域に前記第1の基板搬送装置がアクセスしているかを検出するための第1のセンサと、前記領域に前記第2の基板搬送装置がアクセスしているかを検出するための第2のセンサと、前記領域に基板が保持されているかを検出するための第3のセンサとを備え、前記第2のセンサの出力及び前記第3のセンサの出力に基づき、前記第1の基板搬送装置が前記領域にアクセス可能かを判断し、前記第1のセンサの出力及び前記第3のセンサの出力に基づき、前記第2の基板搬送装置が前記領域にアクセス可能かを判断するようにしたことを特徴とする基板受け渡しシステム。

IPC (2)：

H01L 21/68 ,  H01L 21/027

FI (3)：

H01L 21/68 A ,  H01L 21/30 502 J ,  H01L 21/30 562

F-Term (23)：

5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031DA01 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031FA15 ,  5F031GA02 ,  5F031GA47 ,  5F031GA48 ,  5F031GA49 ,  5F031JA02 ,  5F031JA06 ,  5F031JA22 ,  5F031MA02 ,  5F031MA04 ,  5F031MA26 ,  5F031MA27 ,  5F031PA02 ,  5F046CD01 ,  5F046CD05 ,  5F046DB10 ,  5F046DC12