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J-GLOBAL ID：200903049066301154
表面状態検査装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
高梨 幸雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992164228
Publication number (International publication number)：1993332943
Application date： May. 29, 1992
Publication date： Dec. 17, 1993
Summary：
【要約】【目的】 複数の検査面を積層した被検査物の各検査面に付着した埃や塵等の異物を高精度に検出することができる表面状態検査装置を得ること。【構成】 複数の検査面を積層した被検査物を可動のステージに載置し、該検査面に対して斜方向から光束を入射させると共に該ステージの移動方向と略直交方向に光走査を行い、該検査面からの散乱光を光検出手段で検出することにより、該検査面上の異物の有無を判別する際、該光検出手段をその受光方向が該検査面での入射光束の正反射方向と該検査面との間に位置するように設定したこと。
Claim (excerpt)：
複数の検査面を積層した被検査物を可動のステージに載置し、該検査面に対して斜方向から光束を入射させると共に該ステージの移動方向と略直交方向に光走査を行い、該検査面からの散乱光を光検出手段で検出することにより、該検査面上の異物の有無を判別する際、該光検出手段をその受光方向が該検査面での入射光束の正反射方向と該検査面との間に位置するように設定したことを特徴とする表面状態検査装置。
IPC (4)：
G01N 21/88
, G01B 11/30
, G03F 1/08
, H01L 21/66
Cited by examiner (9)
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