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J-GLOBAL ID：200903049077151669
試料検査装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
若林 忠 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998077524
Publication number (International publication number)：1999274256
Application date： Mar. 25, 1998
Publication date： Oct. 08, 1999
Summary：
【要約】【課題】 ウェハ上の微小な異物を回路パターンと区別して検出し、その組成分析や形状観察などの分析を簡便に行う試料検査装置を提供する。【解決手段】 試料検査装置は、LSIウェハなどの被測定試料4の表面へビーム光を照射し、該表面からの反射光を観察する反射光観察部2と、異常観察・分析部3と、被測定試料4を反射光観察部2と異常観察・分析部3の各々の視野間および視野内に移動する移動ステージ5と、反射光観察部2及び異常観察・分析部3で得られた情報を基に所望の形態に処理する情報処理部6と、反射光観察部2からの情報を基に情報処理部6で確認された異常箇所の位置を記憶する座標記憶部7と、座標記憶部7で記憶した異常箇所の位置座標に基づいて移動ステージ5を駆動制御する制御部9と、情報処理部6での所望の形態の処理結果を外部に表示するための表示部8とを備えている。
Claim (excerpt)：
被測定試料の表面にビーム光を照射し、該表面からの反射光を観察する反射光観察手段と、被測定試料の表面の異常箇所を観察、分析する異常観察・分析手段と、前記被測定試料が載置され、前記反射光観察手段と前記異常観察・分析手段のそれぞれの視野間および視野内を移動する移動手段と、前記反射光観察手段によって得られた情報を基に前記測定試料の表面の異常箇所を検出し、かつ、前記異常観察・分析手段によって得られた情報を基に、検出された表面の異常が異物であったのか、あるいはどのような種類の異物であったのかを判断する情報処理部と、前記情報処理部において前記測定試料の表面の異常箇所を検出したときの位置座標を記憶する座標記憶手段と、前記座標記憶手段に記憶された異常箇所の位置座標に基づいて前記移動手段を移動させて前記測定試料の表面の異常箇所を前記異常観察・分析手段の視野内に入れるための制御部と、前記情報処理手段による処理結果を外部に表示する表示手段と、を具備することを特徴とする試料検査装置。
IPC (2)：
FI (3)：
H01L 21/66 J
, H01L 21/66 Z
, G01N 21/88 E
