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J-GLOBAL ID：200903049097459805

半絶縁性酸化ガリウム単結晶の製造方法

Inventor： 大平 重男 ,  新井 直樹
Applicant, Patent owner： 日本軽金属株式会社
Agent (2)： 赤澤 日出夫 ,  ▲橋▼場 満枝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2008124719
Publication number (International publication number)：2009274883
Application date： May. 12, 2008
Publication date： Nov. 26, 2009
Summary：

【課題】簡便且つ低コストで半絶縁性の酸化ガリウム単結晶を得ることができる半絶縁性酸化ガリウム単結晶の製造方法を提供する。【解決手段】酸化ガリウム粉末を原料としてラバーチューブに封入し、ラバープレスで成形、電気炉で温度1500°C、10hで焼結した焼結体を原料棒として、フローティングゾーン法で酸化ガリウム単結晶を育成し(S1)、育成された酸化ガリウム単結晶を原料として酸素100%の雰囲気中にてフローティングゾーン法で酸化ガリウム単結晶を成長させる(S2)。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

酸化ガリウム単結晶を原料として酸素100%の雰囲気中にてフローティングゾーン法で酸化ガリウム単結晶を成長させることにより半絶縁性酸化ガリウム単結晶を得ることを特徴とする半絶縁性酸化ガリウム単結晶の製造方法。

IPC (2)：

C30B 29/16 ,  H01L 31/108

FI (2)：

C30B29/16 ,  H01L31/10 C

F-Term (17)：

4G077AA02 ,  4G077AB02 ,  4G077AB06 ,  4G077BB10 ,  4G077CE03 ,  4G077CE05 ,  4G077EA07 ,  4G077EC01 ,  4G077HA01 ,  4G077HA06 ,  4G077HA12 ,  4G077NA01 ,  5F049MA05 ,  5F049NA18 ,  5F049SE05 ,  5F049SE12 ,  5F049SS01