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J-GLOBAL ID：200903049106252100

表面検査方法

Inventor： 青井 応和 ,  山本 宏司
Applicant, Patent owner： 松下電工株式会社
Agent (1)： 川瀬 幹夫 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992164632
Publication number (International publication number)：1994003282
Application date： Jun. 23, 1992
Publication date： Jan. 11, 1994
Summary：

【要約】【目的】 物体表面の色むらを消去し、異物のS/N比を大きくして被検査物の表面を、高い検出能力でCCDカメラを用いて検査する。【構成】 除去したい色むらの色フィルタ3がレンズ前に設置されたCCDカメラ2を用いて被検査物1の表面を検査する。被検査物1を照明4によって照度アップするとフィルタによる画像の輝度低下が抑えられ感度低下が阻止できるので好ましい。

Claim (excerpt)：

除去したい色むらの色フィルタがレンズ前に設置されたCCDカメラを用いて被検査物の表面を検査することを特徴とする表面検査方法。

IPC (3)：

G01N 21/88 ,  G01B 11/30 ,  G01J 1/04