磁気抵抗センサ及びその製造方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：松本昂
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001339416
Publication number (International publication number)：2003142755
Application date： Nov. 05, 2001
Publication date： May. 16, 2003
Summary：

【要約】【課題】見かけ上のコンタクトホールの直径を小さくすることが可能なCPP構造の磁気抵抗センサを提供することである。【解決手段】磁気抵抗センサであって、下部電極層と、下部電極層上に設けられた、絶縁体マトリックスと、該絶縁体マトリックス中に分散配置された複数のナノチューブからなるナノチューブ構造膜と、ナノチューブ構造膜上に設けられた磁気抵抗膜と、磁気抵抗膜上に設けられた上部電極層とを含んでいる。ナノチューブの各々は円筒状非金属と該円筒状非金属中に内包された円柱状金属とから構成される。ナノチューブ構造膜の中央領域が部分的にエッチングされて、エッチング部分で上部電極層と下部電極層とが、磁気抵抗膜及び円柱状金属を介して導通されている。

Claim (excerpt)：

磁気抵抗センサであって、上部及び下部電極層と、前記上部及び下部電極層間に設けられ、絶縁体中に筒状非金属に内包された柱状金属が配置されてなる導通路層と、該導通路層と一方の電極層の間に設けられた磁気抵抗膜と、を具備したことを特徴とする磁気抵抗センサ。

IPC (5)：

H01L 43/08 , G11B 5/39 , H01L 21/3205 , H01L 21/768 , H01L 43/12

FI (5)：

H01L 43/08 Z , G11B 5/39 , H01L 43/12 , H01L 21/88 M , H01L 21/90 B

F-Term (16)：

5D034BA03 , 5D034BA08 , 5D034CA06 , 5D034DA07 , 5F033HH11 , 5F033HH13 , 5F033JJ17 , 5F033KK11 , 5F033KK13 , 5F033NN00 , 5F033NN05 , 5F033QQ08 , 5F033QQ09 , 5F033RR01 , 5F033RR04 , 5F033VV09

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

磁気センサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-328845 Applicant：富士通株式会社
異物質内包カーボンナノチューブとその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-341747 Applicant：日本電気株式会社
磁気抵抗効果素子、磁気ヘッド及び磁気再生装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-301118 Applicant：株式会社東芝

Show all

Return to Previous Page