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J-GLOBAL ID：200903049117578610
表面情報分離測定装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992329408
Publication number (International publication number)：1994174458
Application date： Dec. 09, 1992
Publication date： Jun. 24, 1994
Summary：
【要約】【目的】本発明は、同一試料の複数の表面情報を分離して個々に情報を検出し合成した表面情報を形成し、表面状態に影響されない表面情報分離装置を提供することを目的とする。【構成】本発明は、マイコン21により伸縮動作が制御されるXYZ駆動圧電体26に載置される試料25が任意のX,Y,Z方向に走査され、該試料表面に先端部を近付けたカンチレバー27と、カンチレバー27を振動させる加振圧電体28と、試料表面上の走査によるカンチレバー27の変位(変位信号S1,振幅信号S2)を検出する探針変位検出部29と、得られた測定データを画像形成するホストコンピュータ32とで構成され、前記カンチレバー27の走査により得られる試料表面の凹凸のAFMデータと、振動するカンチレバー27の走査により得られる試料表面のコンスタント磁力勾配との差から表面情報(MFMデータ)を検出し画像形成する表面情報分離測定装置である。
Claim (excerpt)：
試料を3次元に移動させる試料移動手段と、前記試料移動手段により移動される前記試料の表面上を表面形状に沿って走査する尖った先端部を有するカンチレバーと、前記カンチレバーを所定振動数で振動させる振動体と、前記カンチレバーの走査の際に生じる前記先端部の変位を検出する変位検出手段と、前記カンチレバー振幅を検出する振幅検出手段と、前記変位検出手段から送出される無振動のカンチレバーの走査で得られた第1の表面情報及び、振幅検出手段から送出される所定振動のカンチレバーの走査で得られた第2の表面情報を演算処理する演算手段と、前記演算手段により演算出力された測定データに基づき、表面情報を画像形成する画像形成手段と、前記試料の表面情報を記憶する手段とを具備することを特徴とする表面情報分離測定装置。
IPC (2)：
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