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J-GLOBAL ID：200903049124265139

半導体装置の平坦化方法及び平坦化装置

Inventor： 杉山 美寿男 ,  新井 初雪
Applicant, Patent owner： スピードファム株式会社
Agent (1)： 澁谷 孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994112091
Publication number (International publication number)：1995297195
Application date： Apr. 27, 1994
Publication date： Nov. 10, 1995
Summary：

【要約】【目的】 多層配線を施した半導体装置の層間絶縁膜等をケミカルメカニカルポリシング加工によって平坦化する平坦化方法及び平坦化装置を提供する。【構成】 定盤17上にポリウレタン不織布18hと硬質の発砲ポリウレタン18gから成る2層研磨布18が貼り付けられている。研磨布18gの表面を毛羽立ち及び表面全体の形状を創成するために、下面にダイヤモンドを被覆した工具21を設ける。シリコンウエハ20はバッキングパッド23を介してチャック19に保持され、定盤17、ウエハ20の回転により研磨布18によってウエハに作製した半導体装置の層間絶縁膜が研磨されると同時に、バッキングパッド23の曲率に一致した研磨面を備えた工具21で、研磨布18gの表面層に毛羽立ちを与え且つバッキングパッド23の曲率に一致した研磨面を研磨布表面に創成する。これによって研磨レートが安定し、研磨量のユニフォーミティが向上する。

Claim (excerpt)：

ケミカルメカニカルポリシング加工によって平坦化する半導体装置の平坦化方法において、合成樹脂製研磨布表面を、加工の初期に研磨布表面層形成を行うことを特徴とする半導体装置の平坦化方法。

IPC (5)：

H01L 21/3205 ,  B24B 1/00 ,  B24B 37/04 ,  H01L 21/304 321 ,  H01L 21/304

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平4-343658
  
• 特開平4-242929
  
• 特開平4-343658
  
• 特開平4-242929