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J-GLOBAL ID：200903049175326159
被処理体の移載システム及び処理装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
井上 俊夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991062660
Publication number (International publication number)：1993275511
Application date： Mar. 01, 1991
Publication date： Oct. 22, 1993
Summary：
【要約】[目的]例えば大気中のウエハを真空の処理槽内で処理する場合に、ウエハの移載に要する時間を短縮する。[構成]処理槽1の搬入側、搬出側に各々2基の位置ずれ検出機能を備えたロードロック装置10、11、16,17を設置し、そのうちの1基づつは、待機用として用いられる。大気側には、搬入機構7と搬出機構18を設ける。処理槽1内には、2基の移載機構12、13を設け、更にダミーウエハステージ14を移載機構12、13の操作範囲内に設ける。ウエハは、ロードステージ7、8から搬入機構7によりロードロック装置10、11を介して複線的に処理槽1内に搬入され、2基の移載機構12、13のタイミングをとることにより、ターンテーブル1に対して載置と取り出しが同時に行われる。そして同様にして複線的に搬出される。このとき必要に応じて処理槽内のダミーウエハが使用される。
Claim (excerpt)：
一の気体雰囲気である外部からロードロック装置を介して他の気体雰囲気である処理槽内に被処理体を搬入し、ここでバッチ処理する処理装置において、前記処理槽に被処理体の搬入口及び搬出口を別個に設けて、これらに夫々搬入用のロードロック装置及び搬出用のロードロック装置を設置し、外部から被処理体を前記搬入用のロードロック装置に搬入する搬入機構と、前記搬入用のロードロック装置から被処理体を処理槽内の載置部に移載する第1の移載機構と、前記載置部から被処理体を搬出用のロードロック装置に移載する第2の移載機構と、前記搬出用のロードロック装置から被処理体を外部に搬出する搬出機構とを設けたことを特徴とする被処理体の移載システム。
IPC (5)：
H01L 21/68
, B65G 49/00
, C23C 14/56
, H01J 37/317
, H01L 21/265
