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J-GLOBAL ID：200903049197033090

オプティカルインテグレータを備える照明光学装置

Inventor： 山元 規彰
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 宮川 貞二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997013301
Publication number (International publication number)：1998199800
Application date： Jan. 09, 1997
Publication date： Jul. 31, 1998
Summary：

【要約】【課題】 不連続な変化を伴わずに光の強度を調節できる照明光学装置を提供する。【解決手段】 複数の光源像を形成するオプティカルインテグレータ123と;前記オプティカルインテグレータの光路に配置されて所定の広がりの光通過領域を有する光学フィルタ162とを備え;該フィルタの光通過領域は、連続的に光透過率が変化するように構成され;前記光路と重なる領域を前記光通過領域内で選択できるように構成されている照明光学装置。光学フィルタの光通過領域は連続的に光透過率が変化するように構成され、光学フィルタにおける装置の光路と重なる領域を前記光通過領域内で選択できるように構成されているので、選択する領域により光透過率が定まり、しかもその光透過率を時間的に連続的に変化させることができる。

Claim (excerpt)：

光源からの光に基づいて複数の光源像を形成するオプティカルインテグレータと;前記オプティカルインテグレータの前記光源側の光路に配置されて所定の広がりの光通過領域を有する光学フィルタとを備え;前記光学フィルタの光通過領域は、該光通過領域内において連続的に光透過率が変化するように構成され;前記光学フィルタにおける前記光路と重なる領域が、前記光通過領域の一部であり;前記光路と重なる領域を前記光通過領域内で選択できるように構成されていることを特徴とする;照明光学装置。

IPC (2)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (3)：

H01L 21/30 515 D ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 527