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J-GLOBAL ID：200903049199262771
半導体加速度センサおよび製造方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
岩佐 義幸
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993122356
Publication number (International publication number)：1994331647
Application date： May. 25, 1993
Publication date： Dec. 02, 1994
Summary：
【要約】【目的】 半導体加速度センサの感度較正方法およびセンサ構成法を提供し、センサのパーフォーマンスを高める。【構成】 半導体加速度センサ内部にセンサ較正データ記録領域2を有し、較正データが蓄えられる。ここには感度、オフセット、各々の値の温度係数などが記録されている。このデータは半導体加速度センサシステム内にある信号処理回路1に導かれて、半導体加速度センサの較正演算に利用される。
Claim (excerpt)：
感度の値を記録した領域を有し、前記領域は電気信号によって、書換え可能であることを特徴とする半導体加速度センサ。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (6)
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