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J-GLOBAL ID:200903049206535797
ウオールジエツト型電気化学的検出器およびその製造方法
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (1):
山川 政樹
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1991278911
Publication number (International publication number):1993093705
Application date: Oct. 01, 1991
Publication date: Apr. 16, 1993
Summary:
【要約】【目的】 高い検出感度を得る。【構成】 表面に酸化シリコン酸化膜1を形成したシリコンウエハ2上に複数の同心円状の薄膜電極からなる同心円状マルチリング作用電極5(図示されない),同心円状マルチリング作用電極6が微小間隔によって分離されて形成され、同心円状マルチリング作用電極5上にピロール重合膜9が被覆されている。
Claim (excerpt):
少なくとも2つの同心円状電極からなり、前記同心円状電極の少なくとも一方の一部が触媒作用または酸化還元作用を有する物質で被覆されていることを特徴とするウォールジェット型電気化学的検出器。
IPC (2):
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