シランモノマー及びポリマーを製造する方法及びそれを含むフォトレジスト組成物

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (3)：千田稔 , 辻永和徳 , 橋本幸治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003054579
Publication number (International publication number)：2004038143
Application date： Feb. 28, 2003
Publication date： Feb. 05, 2004
Summary：

【課題】新規なSi含有モノマー、斯かるモノマーを含有するポリマー及びそのポリマーを含有するフォトレジスト組成物の提供。【解決手段】ビニル炭素環式アリールエステル化合物をトリハロシラントリヒドロキシシラン,トリアルコキシシラン等の反応性シラン化合物と反応させてモノマーを生成する。該モノマーを,多反応性窒素部位を有する化合物の存在下で、重合しシロキサンポリマーを得る。該ポリマーは好ましくはフォト酸レイビル基を含む1以上の繰り返し単位を含む。該ポリマーとフォト活性成分と混合させることによりフォトレジスト組成物を生成する。【選択図】なし

Claim (excerpt)：

a)ビニル炭素環式アリールエステル化合物とシラン化合物とを反応させてモノマーを生成し、該モノマーを重合させてシロキサンポリマーを提供し;及びb)該ポリマーとフォト活性成分を混合させることを含む、フォトレジスト組成物の調製方法。

IPC (5)：

G03F7/075 , C08G77/14 , G03F7/038 , G03F7/039 , H01L21/027

FI (6)：

G03F7/075 511 , C08G77/14 , G03F7/038 601 , G03F7/039 601 , H01L21/30 502R , H01L21/30 573

F-Term (44)：

2H025AB16 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BG00 , 2H025CB33 , 2H025CC20 , 2H025DA11 , 2H025DA29 , 2H025FA03 , 2H025FA12 , 2H025FA17 , 2H025FA41 , 2H096AA25 , 2H096BA01 , 2H096BA11 , 2H096BA20 , 2H096CA05 , 2H096EA02 , 2H096FA01 , 2H096GA08 , 2H096KA02 , 4J246AA03 , 4J246AB06 , 4J246BA020 , 4J246BA12X , 4J246BA120 , 4J246BB010 , 4J246BB012 , 4J246CA270 , 4J246CA39M , 4J246CA53M , 4J246CA64X , 4J246CA640 , 4J246CA99M , 4J246FA061 , 4J246FA121 , 4J246FA151 , 4J246FA171 , 4J246GB04 , 4J246GD08 , 4J246HA15 , 5F046NA01

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (22)

ラダーポリシロキサンおよびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-018730 Applicant：株式会社関西新技術研究所
硬化性オルガノポリシロキサン組成物、その硬化物および基材との一体化物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-093776 Applicant：東レ・ダウコーニング・シリコーン株式会社
ポリオルガノシロキサンの製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-005251 Applicant：鐘淵化学工業株式会社

Show all

Return to Previous Page