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J-GLOBAL ID：200903049239248084
超小型近接撮影装置を用いたIC観察装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
大橋 弘
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992055446
Publication number (International publication number)：1993256785
Application date： Mar. 13, 1992
Publication date： Oct. 05, 1993
Summary：
【要約】【目的】 超小型近接撮影装置を利用して能率的にICのはんだ付け検査を行いたい。【構成】 撮影装置1に取り付けた回転リング5により光軸反射ミラー7と周回反射ミラー9及び照明光路補正用リングレンズ8を回転して、水平に置かれたIC10のはんだ付け部分11をモニターする。【効果】 IC10を置き、指先で回転リング5を回転するだけでよいので、はんだ付けの検査を能率的に行うことができる。
Claim (excerpt)：
超小型近接撮影装置に対して回転自在に取り付けられた回転リングと、この回転リングと一緒に回転し、且つ光軸に置かれた光軸反射ミラーと、この光軸反射ミラーに対してICを斜め上方から反射して、この反射像を前記光軸反射ミラーに向けて投写することができ、前記回転リングにより光軸反射ミラーと一緒にICの周囲を回転する周回反射ミラーと、超小型近接撮影装置側の照明用リングレンズの前面に位置し、照明用光路を補正する照明光路補正用リングレンズと、から成る超小型近接撮影装置におけるIC観察装置。
IPC (6)：
G01N 21/84
, G01B 11/30
, G03B 15/03
, H01L 21/66
, H05K 3/34
, H01L 23/50
