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J-GLOBAL ID：200903049239309130
エキシマ光照射装置の照度測定機構
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
田原 寅之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999135075
Publication number (International publication number)：2000332324
Application date： May. 17, 1999
Publication date： Nov. 30, 2000
Summary：
【要約】【課題】実際にワークに紫外線が照射される任意の場所の短波長の紫外線強度を正確に測定することができるエキシマ光照射装置の照度測定機構を提供する。【解決手段】処理室20と紫外線透過板13で区画されるランプハウス10内の誘電体バリア放電ランプ11からの光の照度測定機構を、放電ランプから放射される光を受光し、受光した光エネルギーに比例した電気信号を出力する受光器30と、受光器が載置される受光台40と、受光台を横走行させて処理室内に進入させると共に上昇させて受光器を紫外線透過板に密着させ、照度測定後に受光台を下降させ、処理室から退避させる受光台駆動部と、受光台が処理室から退避したときに受光器を処理室から遮蔽する遮蔽板70とで構成する。
Claim (excerpt)：
被処理物であるワークを密閉可能な処理室内に配置し、該処理室と紫外線透過板で区画されるランプハウス内の誘電体バリア放電ランプからの光をワークに照射するエキシマ光照射装置における該ランプの放射照度を測定するための照度測定機構であって、該放電ランプから放射される光を受光し、受光した光エネルギーに比例した電気信号を出力する受光器と、該受光器が載置される受光台と、該受光台を横走行させて処理室内に進入させると共に上昇させて該受光器を紫外線透過板に密着させ、照度測定後に受光台を下降させ、該処理室から退避させる受光台駆動部と、該受光台が処理室から退避したときに該受光器を該処理室から遮蔽する遮蔽板と、からなることを特徴とするエキシマ光照射装置の照度測定機構。
IPC (2)：
FI (2)：
F-Term (16)：
2G065AA03
, 2G065AB05
, 2G065AB27
, 2G065BA01
, 2G065BB21
, 2G065BB26
, 2G065BD01
, 2G065CA29
, 2G065DA15
, 5F072AA06
, 5F072HH02
, 5F072HH03
, 5F072JJ09
, 5F072KK30
, 5F072RR05
, 5F072YY08
Cited by examiner (5)
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