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J-GLOBAL ID：200903049240810284

接着テープ付き研磨パッド及び研磨パッド接着方法

Inventor： 箱守 駿二
Applicant, Patent owner： スピードファム株式会社
Agent (1)： 塚原 孝和
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997336346
Publication number (International publication number)：1999151661
Application date： Nov. 20, 1997
Publication date： Jun. 08, 1999
Summary：

【要約】【課題】 研磨パッドの定盤への接着の際に接着テープと定盤との間に侵入した空気を自動的に抜くことができ、しかも、研磨パッド接着作業を容易に行うことができる接着テープ付き研磨パッド及び研磨パッド接着方法を提供する。【解決手段】 通気性を有する研磨パッド本体2と研磨パッド本体2の一面全体に接着された接着テープ3とを備えている。そして、接着テープ3には、空気を通気させる多数の通気部4が均一に穿設されている。これにより、接着テープ3と定盤との間に侵入した空気を通気部4と研磨パッド本体2とを介して外部に逃がす。

Claim (excerpt)：

通気性を有する研磨パッド本体と、上記研磨パッド本体の一面全体に接着された接着テープとを有する接着テープ付き研磨パッドにおいて、空気が接着テープの一面側から他面側に通気可能な複数の通気部を、接着テープ全体に均一に設けた、ことを特徴とする接着テープ付き研磨パッド。