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J-GLOBAL ID：200903049243387951

微量有機化合物分析方法及び装置

Inventor： 古野 正浩 ,  青木 久雄 ,  細渕 光男
Applicant, Patent owner： ジーエルサイエンス株式会社
Agent (1)： 高橋 三雄 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992088105
Publication number (International publication number)：1993256842
Application date： Mar. 12, 1992
Publication date： Oct. 08, 1993
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】 シリコンウエハー等に付着乃至含まれる微量有機化合物の分析が出来る。【構成】 電気炉3を流量コントローラー1を介しキャリヤー通路に連通する。電気炉3にキャリヤー流通可能にする。バルブオーブン6のトラップ管47と電気炉3及びTCT7と連通自在にし、トラップ管47にトラップした有機化合物を脱着してTCT7でクライオフォーカスし、これをキャピラリーカラム8、検出器9等にて構成されるガスクロマトグラフに導入分析する。

Claim (excerpt)：

試料を炉中にて高温加熱することにより有機化合物を脱着させ、トラップ管に濃縮させると共に、トラップ管の加熱により有機化合物を脱着させ、TCTに送ってクライオフォーカスさせた後、ガスクロマトグラフに導入し分析することを特徴とする微量有機化合物分析方法。

IPC (3)：

G01N 30/88 ,  G01N 30/06 ,  G01N 30/08

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平2-203268
  
• 特開平1-203970
  
• 特開平2-236163