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J-GLOBAL ID:200903049296875850

圧電アクチュエータ

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 石井 陽一
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1996305622
Publication number (International publication number):1998136665
Application date: Oct. 31, 1996
Publication date: May. 22, 1998
Summary:
【要約】【課題】 高精度の位置調整が可能であり、微小な角度の高精度な調整に対応でき、かつこれらの調整が高速にでき、しかも、簡単な構造で薄型化が可能なアクチュエータを提供する。【解決手段】 圧電・電歪材料から構成される板状体に少なくとも1つの孔部を設けることにより、固定部3と、可動部4と、これらを接続する少なくとも2つの梁部2とを一体的に形成し、少なくとも1つの梁部2の少なくとも一部に、固定部3と可動部4とを結ぶ方向の伸縮が生じるように電極層5を設けて変位発生部を構成し、変位発生部の伸縮に伴い発生する固定部3に対する可動部4の変位が、板状体の面内における弧状変位または回転変位となるように構成する。
Claim (excerpt):
圧電・電歪材料から構成される板状体に少なくとも1つの孔部を設けることにより、固定部と、可動部と、これらを接続する少なくとも2つの梁部とが一体的に形成されており、少なくとも1つの梁部の少なくとも一部に、固定部と可動部とを結ぶ方向の伸縮が生じるように電極層が設けられて変位発生部が構成されており、変位発生部の伸縮に伴い発生する固定部に対する可動部の変位が、板状体の面内における弧状変位または回転変位である圧電アクチュエータ。
IPC (4):
H02N 2/00 ,  B06B 1/06 ,  G01L 1/16 ,  H01L 41/09
FI (4):
H02N 2/00 B ,  B06B 1/06 Z ,  G01L 1/16 ,  H01L 41/08 C
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)
  • 特開平2-277012
  • 特開平2-277012
  • 圧電駆動モータ
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平3-281761   Applicant:富士電機株式会社

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