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J-GLOBAL ID：200903049305270797

積層板の凹凸検査方法及び検査装置

Inventor： 佐藤 春美 ,  倉島 秀夫 ,  柴崎 久市
Applicant, Patent owner： 桑原 康長
Agent (1)： 渡辺 喜平
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992359827
Publication number (International publication number)：1994201610
Application date： Dec. 28, 1992
Publication date： Jul. 22, 1994
Summary：

【要約】【目的】 金属板と樹脂フィルムの間に介在する気泡や異物等に起因する積層板表面の凹凸を確実に検査する。【構成】 金属板に樹脂フィルムを貼り合わせて形成した積層板の、上記金属板と樹脂フィルムとの間に介在する気泡,異物等に起因して積層板表面に現われる凹凸を検査するに際し、積層板の表面に、偏光子と位相板を通過させた光を投射し、かつ積層板の表面で反射した光を検光子を介して観察し、このとき上記位相板の軸方向を上記樹脂フィルムの配向方向に対して、樹脂フィルムの配向方向に対して45,135,225又は315度±20度の範囲又は積層板表面の凹凸の映像コントラストが最大となる角度だけ回転させて積層板表面の凹凸検査を行なう。

Claim (excerpt)：

金属板に樹脂フィルムを貼り合わせて形成した積層板の、上記金属板と樹脂フィルムとの間に介在する気泡,異物等に起因して積層板表面に現われる凹凸を検査する方法において、積層板の表面に、偏光子と位相板を通過させた光を投射し、かつ積層板の表面で反射した光を検光子を介して観察し、このとき上記位相板の軸方向を所定の角度だけ回転させ、積層板表面の凹凸を明暗像として観察することによって積層板表面の凹凸検査を行なうことを特徴とした積層板の凹凸検査方法。