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J-GLOBAL ID：200903049310046293
チャックテーブル
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
佐々木 功 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998062596
Publication number (International publication number)：1999254259
Application date： Mar. 13, 1998
Publication date： Sep. 21, 1999
Summary：
【要約】【課題】 半導体ウェーハのダイシングを行うダイシング装置等の各種切削装置に搭載されて被加工物を吸引保持するチャックテーブルにおいて、被加工物が載置される上面板に線膨張があっても切削手段による切り込み深さを常に一定に保つようにする。【解決手段】 少なくとも、被加工物が載置される上面板と、該上面板に吸引作用を施す吸引部とから構成され、上面板はポーラス部材のみから形成されると共に、その外周部には非通気性を施したチャックテーブルを提供する。
Claim (excerpt)：
切削装置に搭載されて被加工物を吸引保持するチャックテーブルであって、少なくとも、被加工物が載置される上面板と、該上面板に吸引作用を施す吸引部とから構成され、該上面板はポーラス部材のみから形成されると共に、その外周部には非通気性を施したチャックテーブル。
IPC (2)：
FI (2)：
B23Q 3/08 A
, H01L 21/78 M
