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J-GLOBAL ID：200903049314993807

プラズマ発生装置

Inventor： 高橋 清 ,  村松 文雄 ,  竹田 智彦 ,  折付 良二
Applicant, Patent owner： 国際電気株式会社 ,  株式会社日立製作所
Agent (1)： 三好 祥二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991348907
Publication number (International publication number)：1993160036
Application date： Dec. 05, 1991
Publication date： Jun. 25, 1993
Summary：

【要約】【目的】プラズマ発生装置に於いて、プラズマの均一性を向上させると共に合わせてプラズマ発生室の清掃作業の作業性を向上させる。【構成】プラズマ発生室25の内壁を着脱容易な絶縁性の壁18,19,21,22で覆い、プラズマ分布を均一化し、又清掃時には絶縁性の壁の着脱で、清掃作業性を改善する。

Claim (excerpt)：

プラズマ発生室の内壁を着脱容易な絶縁性の壁で覆ったことを特徴とするプラズマ発生装置。