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J-GLOBAL ID：200903049330932508

積層型圧電アクチュエータの製造方法

Inventor： 綿引 誠次 ,  鈴木 秀夫 ,  宮田 素之 ,  塩野 修 ,  林原 光男
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998198374
Publication number (International publication number)：2000031558
Application date： Jul. 14, 1998
Publication date： Jan. 28, 2000
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】例えば、圧電特性を有する圧電板の両面に内部電極を形成した圧電板を接着剤を介して多数枚積み重ね、焼き付けして積層体を形成する工程,該積層体に絶縁層及び外部電極を形成する工程において、耐熱性及び応答性に優れた圧電アクチュエータの製造方法を提供する。【解決手段】耐熱温度が150°C以上のZnO-Al2O3-B2O3-SiO2 系ガラス絶縁材を形成し、更に、外部電極材付与部に、耐熱温度が150°C以上で、組成が導体のAgと接合成分のBi2O3-B2O3-PbO系ガラスからなる外部電極材を形成した圧電アクチュエータを得る。

Claim (excerpt)：

焼結体をスライス加工して得た圧電板の少なくとも一方の面に内部電極層を形成し、接着剤にて複数の前記圧電板を積層,焼き着け固着して積層体を形成するか、または圧電特性を有するセラミックスからなるグリーンシートに内部電極を印刷し、これを複数枚積層し加熱圧着後脱脂,焼結して積層枚数の少ない積層体を形成し、該積層体の複数個を接着剤にて焼き付け接合し、所定長さの積層体を形する工程,前記積層体より所要寸法に加工する工程,該積層体の側面に位置する前記内部電極層に絶縁材を用いて一層おきに覆って焼き付け固定する工程,前記絶縁材を覆って他の内部電極層に一層おきに導通するように外部電極材を付与、焼き付け固定する工程を経て、圧電アクチュエータを製造する方法において、前記接着剤は耐熱性が高く、且つ弾性率が大きい、また、前記絶縁材と前記外部電極材は耐熱性が高いことを特徴とする積層型圧電アクチュエータの製造方法。

IPC (2)：

H01L 41/22 ,  H01L 41/083

FI (2)：

H01L 41/22 Z ,  H01L 41/08 S