Pat

J-GLOBAL ID：200903049336847103

微細配線電流波形計測装置

Inventor： 濱 壮一 ,  尾崎 一幸 ,  若菜 伸一
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社
Agent (1)： 松本 眞吉
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992026948
Publication number (International publication number)：1993223855
Application date： Feb. 13, 1992
Publication date： Sep. 03, 1993
Summary：

【要約】【目的】本発明は、微細配線電流波形計測装置に関し、微細配線に流れる電流の波形を計測することを目的とする。【構成】原子間力顕微鏡の探針24に配線ループ28が形成され、試料に形成された配線16aに探針24を接近させた状態で配線ループ28に生じた誘導起電力を、カンチレバー22に形成されたリード線26A、26Bを介して検出し、この起電力を時間積分して配線16aに流れる電流を求める。

Claim (excerpt)：

一端が固定され他端が自由端とされリード線(26A、26B)が形成されたカンチレバー(22)と、該カンチレバーの該自由端に設けられ、端部が該リード線と導通した配線ループ(28)が形成された探針(24)と、該カンチレバーの自由端部の高さ変位を非接触で検出する変位検出器(38)と、該探針に試料(16)の表面を対向させた状態で該試料を3次元的に微動させる微動ステージ(12、14)と、該試料に形成された配線に該探針を接近させ、該高さ変位が所定値になるように該微動ステージを駆動する走査回路(18、20)と、該試料に形成された配線に該探針を接近させた状態で該配線ループに生じた誘導起電力を該リード線を介して検出する起電力検出回路(30)と、検出された該誘導起電力を時間積分して、該試料に形成された該配線に流れる電流を求める起電力/電流変換手段(34)と、を有することを特徴とする微細配線電流波形計測装置。

IPC (2)：

G01R 19/00 ,  H01L 21/66