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J-GLOBAL ID：200903049357071199

Ge光検出器

Inventor： ワダ,カズミ ,  キャノン,ダグラス・ディー ,  リュー,ジフェン ,  カイマーリング,ライオネル・シー ,  イシカワ,ヤスヒコ
Applicant, Patent owner： マサチューセッツ・インスティチュート・オブ・テクノロジー
Agent (6)： 社本 一夫 ,  増井 忠弐 ,  小林 泰 ,  千葉 昭男 ,  富田 博行 ,  中田 隆
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2004515597
Publication number (International publication number)：2005530360
Application date： Dec. 02, 2002
Publication date： Oct. 06, 2005
Summary：

光検出器デバイスは、基板上に生長しかつ規定された温度範囲内でアニールされた複数のGeエピ層を包含する。そのGeエピ層は、その光検出器デバイスがC-バンド及びL-バンドにおいて効率的に作動するのを可能にする引き伸ばされたGe層を形成している。

Claim (excerpt)：

光検出器デバイスであって、 基板;及び 複数のGeエピ層であって、前記基板上に生長しておりかつ規定された温度範囲内でアニールされており、前記Geエピ層が、前記光検出器デバイスがC-バンド及びL-バンドにおいて効率的に作動するのを可能にする引き伸ばされたGe層を形成している、複数のGeエピ層 を含んでなるデバイス。

IPC (1)：

H01L31/10

FI (1)：

H01L31/10 A

F-Term (6)：

5F049MB03 ,  5F049NA10 ,  5F049NB01 ,  5F049PA03 ,  5F049SS02 ,  5F049WA01