幾何光学収差を決定する方法

Inventor：
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：飯田幸郷 (外1名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2001555115
Publication number (International publication number)：2003521801
Application date： Dec. 20, 2000
Publication date： Jul. 15, 2003
Summary：

【要約】【課題】プローブを使用し、特に点光源、レンズ、物体および検出器を具備する走査顕微鏡において、幾何光学収差を3次まで検出する方法を提供すること。【解決手段】映像(6)を検出し、アンダー・フォーカスまたはオーバー・フォーカスしたビームでその検出手続きを繰り返し、映像(6,6a,6b)をフーリエ変換する。オーバー・フォーカスおよびアンダー・フォーカスした映像の変形を焦点の合った映像の変形(7)で分割し、その分割した「実際の結果」を逆変換してプローブ(5,5a)すなわちオーバー・フォーカスおよびアンダー・フォーカスした映像の輝度輪郭を検出する。中心についてのプロフィル(9,9a)の幅および/または曲率を決定して、その差異から収差を決定する。

Claim (excerpt)：

粒子ビームを放出する点光源と、前記粒子ビームに影響を与えるレンズと、前記粒子によって撮像される物体と、前記粒子を記録もしくは前記物体を撮像する検出器とを具備する特に走査電子顕微鏡における粒子光学プローブ形成システムにおいて、物体(3)を前記物体(3)に集束した粒子ビームで撮像し、その映像(6)を記録することと、前記記録行程をオーバー・フォーカスしたビームとアンダー・フォーカスしたビームとで繰り返すことと、前記映像(6,6a,6b)をフーリエ・スペースにおいて変換することと、オーバー・フォーカスした映像の変換(7a)を変換し集束した映像(7)の変換で割って、その結果の商(8)を得ることと、アンダー・フォーカスした映像の変換(7a)を変換し集束した映像(7a)で分割して、その結果の商(8a)を得ることと、前記分割した結果を逆変形してプローブ(5,5a)の輝度プロフィル、すなわちオーバー・フォーカスおよびアンダー・フォーカスした光源の映像を決定することと、プロフィル(9,9a)の中心についての非対称性(As)と、プロフィル(9,9a)の幅(BR)特に半減幅、および/または中心についてのプロフィル(9,9a)の曲率(KR)を決定することと、これらのパラメータについてプローブ(5,5a)のプロフィル(9,9a)の相違を映像収差の決定に使用することとを特徴とする3次まで幾何光学収差を決定する方法。

IPC (2)：

H01J 37/153 , H01J 37/28

FI (2)：

H01J 37/153 B , H01J 37/28 B

F-Term (2)：

5C033HH02 , 5C033UU05

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

荷電粒子光学鏡筒における非点収差の補正及び焦点合わせ方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-237456 Applicant：株式会社東芝, 株式会社トプコン
電子顕微鏡における非点補正方式
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-008592 Applicant：日本電子株式会社
非点・入射軸補正装置を備えた電子顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-010085 Applicant：日本電子株式会社

Show all

Return to Previous Page