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J-GLOBAL ID：200903049358269472

3次元形状測定装置

Inventor： 蛭川 英男 ,  今井 義久
Applicant, Patent owner： 横河電機株式会社
Agent (1)： 小沢 信助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992123301
Publication number (International publication number)：1993312538
Application date： May. 15, 1992
Publication date： Nov. 22, 1993
Summary：

【要約】【目的】 ステージの真直度を補正して、高精度な形状測定を行える3次元形状測定装置を実現する。【構成】 被測定物を載せて形状測定点を掃引するためのステージと、このステージ上に載って前記被測定物と同一の動きをする参照面となる平面ミラーと、前記被測定物と参照用平面ミラーとの高さの差を検出する光プローブと、前記ステージの動きに対して前記参照用平面ミラーの傾きを検出する角度検出器と、前記ステージの動きを検出する位置検出器と、前記光プローブと角度検出器と位置検出器の各出力から前記被測定物の3次元形状を求める制御装置とを備え、前記角度検出器で検出した前記参照用平面ミラーの傾きの角度と前記被測定物と参照用平面ミラーとの高さの差を検出する2点間の距離との積を前記ステージの掃引における傾きの影響による値として、前記光プローブの出力から減算することにより、前記ステージの真直度を補正するようにしたことを特徴とするものである。

Claim (excerpt)：

被測定物を載せて形状測定点を掃引するためのステージと、このステージ上に載って前記被測定物と同一の動きをする参照面となる平面ミラーと、前記被測定物と参照用平面ミラーとの高さの差を検出する光プローブと、前記ステージの動きに対して前記参照用平面ミラーの傾きを検出する角度検出器と、前記ステージの動きを検出する位置検出器と、前記光プローブと角度検出器と位置検出器の各出力から前記被測定物の3次元形状を求める制御装置とを備え、前記角度検出器で検出した前記参照用平面ミラーの傾きの角度と前記被測定物と参照用平面ミラーとの高さの差を検出する2点間の距離との積を前記ステージの掃引における傾きの影響による値として、前記光プローブの出力から減算することにより、前記ステージの真直度を補正するようにしたことを特徴とする3次元形状測定装置。