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J-GLOBAL ID：200903049365698176

微細ボール搭載装置

Inventor： 藤村 直之 ,  青木 省一
Applicant, Patent owner： 安藤電気株式会社
Agent (1)： 志賀 正武 (外11名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998020049
Publication number (International publication number)：1999219977
Application date： Jan. 30, 1998
Publication date： Aug. 10, 1999
Summary：

【要約】【課題】 吸着治具の吸着孔へ、微細ボールを効率よくかつばらつきなく吸着させる。【解決手段】 吸着治具2の吸着孔と略同一位置に、微細ボールを保持させる配列孔22aが形成された配列治具22を有するボール供給部14を設ける。ボール供給部14に超音波振動体20を設ける。超音波振動体20を振動させる第1、第2の超音波発信器23、24を設ける。ボール供給部14に、吸引装置A16あるいは圧縮空気源15のいずれかを切換弁17によって接続させる。吸引装置A16をボール供給部14に接続させた状態にて、第1、第2の超音波発信器23、24によって配列治具22の上部に、振動の節及び進行波を発生させて微細ボールを帯状に集束させるとともに配列治具2上を移動させ、微細ボールを配列治具22のそれぞれの配列孔22aへ吸着させて保持させる。

Claim (excerpt)：

バンプとなる微細ボールを吸着し、吸着した微細ボールをワークへ搭載させる微細ボール搭載装置であって、複数の吸着孔が形成された吸着治具を有し、吸引手段によって前記吸着孔に前記微細ボールを吸着させる吸着ヘッドと、前記微細ボールが保持される複数の配列孔が形成された配列治具を有し、該配列治具の配列孔に保持させた微細ボールを前記吸着治具の吸着孔へ供給するボール供給手段と、該ボール供給手段に設けられた超音波振動体と、該超音波振動体を振動させる超音波発信器とを有し、該超音波発信器によって前記超音波振動体を振動させ、前記配列治具の上部に進行波を生じさせ、この進行波によって前記微細ボールを前記配列治具上にて移動させて前記配列孔へ分配させることを特徴とする微細ボール搭載装置。

IPC (3)：

H01L 21/60 311 ,  H01L 21/60 ,  H01L 23/12

FI (4)：

H01L 21/60 311 S ,  H01L 21/92 604 H ,  H01L 21/92 604 Z ,  H01L 23/12 L