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J-GLOBAL ID：200903049412848750

高純度水の製造装置

Inventor： 田村 真紀夫 ,  河北 智博
Applicant, Patent owner： オルガノ株式会社
Agent (1)： 本多 小平 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992119000
Publication number (International publication number)：1993309372
Application date： May. 12, 1992
Publication date： Nov. 22, 1993
Summary：

【要約】【目的】 逆浸透膜を2段に設けて2段RO法により、原水中の不純物を除去して、純水や超純水等の高純度水を製造する際に、処理水中の溶存ガスや揮発性の不純物を効率よく除去できる装置を提供する。【構成】 2段に設けたRO膜装置の透過水を、加熱装置によって加熱した後、真空脱気装置に通す装置を設ける。この装置により、処理効率に優れ、しかも溶存ガスや揮発性の不純物を十分に除去して高品質の高純度水を得ることができる。

Claim (excerpt)：

被処理水が給水される1段目逆浸透膜装置と、この1段目逆浸透膜装置を透過した一次透過水が給水される2段目逆浸透膜装置と、この2段目逆浸透膜装置を透過した二次透過水が給水される脱気装置と、この脱気装置内又は脱気装置前段の給水系に設けられて上記二次透過水を加熱する加熱手段とを備えたことを特徴とする高純度水の製造装置。

IPC (7)：

C02F 1/44 ,  B01D 61/08 ,  B01D 61/58 ,  C02F 1/20 ,  C02F 1/42 ,  C02F 1/58 ,  C02F 9/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平1-171689
  
• 特開平2-222763
  
• 特開昭61-287492
  
• 特開平3-293087