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J-GLOBAL ID：200903049416026283
薄膜磁気ヘッド用スライダ及びその製造方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992302052
Publication number (International publication number)：1994150276
Application date： Nov. 12, 1992
Publication date： May. 31, 1994
Summary：
【要約】【目的】スライダブロック間の隙間に樹脂を充填することにより、種々のマスク材を用い、精度良くマスク形成を行ない、優れたレール加工精度を達成し、同時にスライダへの損傷をなくすることを目的とする。【構成】空気ベアリング面を呈するレールを有する型の磁気ヘッドスライダの製造方法であってスライダブロックを並べる工程と、樹脂を充填、硬化する工程と、エッチングマスク材を形成し、パターニングする工程と、スライダ面をエッチングする工程と、最後にマスク材と充填樹脂を除去する工程よりなる。【効果】従来の機械加工では不可能であった複雑なレール形状を有する薄膜磁気ヘッド用レールを高精度、高清浄かつ安価に製造することができる。この結果、高記録密度化に不可欠な薄膜磁気ヘッドの低浮上化が可能となり、高記録密度を達成する磁気ディスク装置が実現できる。
Claim (excerpt)：
空気ベアリング面を呈するレールを有する型の薄膜磁気ヘッド用スライダを製造する方法であって、素子形成されたウエハからブロック状に切り出されたスライダブロックを複数個並べる工程と、ブロック間の隙間に樹脂を充填、硬化し、スライダブロックの被加工面を含む平坦な面を形成する工程と、その面をドライエッチングにより所望の形状に加工する工程とからなることを特徴とする薄膜磁気ヘッド用スライダの製造方法。
IPC (2)：
G11B 5/60
, G11B 21/21 101
