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J-GLOBAL ID：200903049441131253

ウィーンフィルタ及び直接写像型反射電子顕微鏡

Inventor： 嘉 藤 誠
Applicant, Patent owner： 日本電子株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998044653
Publication number (International publication number)：1999233062
Application date： Feb. 10, 1998
Publication date： Aug. 27, 1999
Summary：

【要約】【課題】 2次と3次の開口収差を同時に補正する事ができるウイーンフィルタを提供すること。【解決手段】 1〜8は電極と磁極を兼ねた電磁極であり、それらは同じ形状である。これらの電磁極1〜8は、電気絶縁体11〜18を介してそれぞれ筒状体9の内側に45度の等間隔で取り付けられており、電磁極1〜8には、コイルC1〜C8がそれぞれ巻かれている。図示していないが、各コイルは電流源に接続されており、また、各電磁極は電圧源に接続されている。このような8極の電磁極から成るウイーンフィルタにおいては、各電磁極に独立の電圧をかけることができ、また、各電磁極の励磁を独立に制御することができる。

Claim (excerpt)：

電極と磁極を兼ねた電磁極を少なくとも8極有するウイーンフィルタにおいて、2次及び3次の収差の影響を小さくするために、前記各極にかかる電圧と各極のコイルに流れる電流をそれぞれ制御する制御手段を備えていることを特徴とするウイーンフィルタ。

IPC (3)：

H01J 49/48 ,  H01J 37/147 ,  H01J 37/29

FI (3)：

H01J 49/48 ,  H01J 37/147 Z ,  H01J 37/29