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J-GLOBAL ID：200903049449102252

感光性樹脂組成物

Inventor： 高木 良博 ,  長田 崇一郎
Applicant, Patent owner： 富士フイルムオーリン株式会社
Agent (1)： 萩野 平 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998143137
Publication number (International publication number)：1999338142
Application date： May. 25, 1998
Publication date： Dec. 10, 1999
Summary：

【要約】【課題】高解像度で、被絶縁物との密着性が優れた無機構造体を提供し得る感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】エポキシエステルモノマーを含むフォトレジストおよび平均粒子径が0.01〜10μmの無機粒子から少なくともなることを特徴とする感光性樹脂組成物。前記感光性樹脂組成物を所望のパターンに焼成してなることを特徴とする無機構造体

Claim (excerpt)：

エポキシエステルモノマーを含むフォトレジストおよび平均粒子径が0.01〜10μmの無機粒子から少なくともなることを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (7)：

G03F 7/027 515 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/075 ,  H01J 9/02 ,  H01J 11/02 ,  H01J 17/04 ,  H01L 21/027

FI (7)：

G03F 7/027 515 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/075 ,  H01J 9/02 F ,  H01J 11/02 B ,  H01J 17/04 ,  H01L 21/30 502 R