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J-GLOBAL ID：200903049468179606

微細加工表面処理剤

Inventor： 大見 忠弘 ,  前野 又五郎 ,  菊山 裕久
Applicant, Patent owner： 橋本化成株式会社
Agent (1)： 尾関 弘
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993041894
Publication number (International publication number)：1994232107
Application date： Feb. 04, 1993
Publication date： Aug. 19, 1994
Summary：

【要約】【目的】フッ化水素酸に界面活性剤を含有せしめた微細加工表面処理について、更に濡れ性その他各種特性を向上せしめること。【構成】フッ化水素酸に、HLB値が7〜17の炭化水素系非イオン界面活性剤を含有せしめたこと。

Claim (excerpt)：

フッ化水素酸に、HLB値が7〜17の炭化水素系非イオン界面活性剤を含有せしめたことを特徴とする濡れ性に優れた微細加工表面処理剤。

IPC (3)：

H01L 21/304 341 ,  C09K 13/00 ,  H01L 21/308