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J-GLOBAL ID：200903049470162010
静電浮上式リニアモータ
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
清水 守
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994306150
Publication number (International publication number)：1996168271
Application date： Dec. 09, 1994
Publication date： Jun. 25, 1996
Summary：
【要約】 (修正有)【目的】 駆動用電極と浮上用電極とを一体化することにより、電極の有効面積を最大限に利用し、機械の性能の向上を図るとともに、被搬送体をそのままの状態で無接触搬送を可能にする。【構成】 所定のピッチを有する複数のストリップ状電極が形成される電極ユニット12a,12bを、絶縁基板上に分離帯11を挟んで2組配置するとともに、浮上兼駆動用電極プレート10と、これに対向する被搬送体20と、電極と被搬送体とのギャップを検出する変位センサ30a〜30e,31a〜31eと、電極への印加電圧を制御する制御器40と、制御電圧を増幅する高電圧アンプ50と、電極への電圧を印加し、シーケンス制御を行う駆動ユニット60とで構成し、ストリップ状電極への電圧の印加により、被搬送体20を浮上させて駆動し、予定される位置に至ると電極への電圧の遮断により離脱させる。
Claim (excerpt)：
静電力を用いた静電浮上式リニアモータにおいて、(a)所定のピッチを有する複数のストリップ状電極が形成される電極ユニットを絶縁基板上に分離帯を挟んで2組配置するとともに、それぞれの電極ユニットに正電圧と負電圧が印加される浮上兼駆動用電極プレートと、(b)該浮上兼駆動用電極プレートと対向する被搬送体と、(c)電極と前記被搬送体とのギャップを検出する変位センサと、(d)電極への印加電圧を制御する制御器と、(e)制御電圧を増幅する高電圧アンプと、(f)電極への電圧を印加し、シーケンス制御を行う駆動ユニットと、(g)前記被搬送体の真上にあるストリップ状電極への電圧の印加により、前記被搬送体を静電吸引力により吸引して浮上させ、前記ストリップ状電極への電圧を切り換えていくことにより、前記被搬送体を浮上した状態で駆動し、前記被搬送体が予定される位置に至ると電極への電圧の遮断により前記被搬送体を浮上兼駆動用電極プレートより離脱させることを特徴とする静電浮上式リニアモータ。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
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