Pat

J-GLOBAL ID：200903049474627190

電解活性水処理装置

Inventor： 北島 洋 ,  青木 秀充 ,  浜野 春人 ,  森田 信 ,  白水 好美 ,  中森 雅治 ,  渡邉 かおり
Applicant, Patent owner： 日本電気株式会社
Agent (1)： 京本 直樹 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994056108
Publication number (International publication number)：1995256260
Application date： Mar. 25, 1994
Publication date： Oct. 09, 1995
Summary：

【要約】【目的】電解活性水の半導体プロセスへの適用を実現するにあたり、電解活性水の長寿命化やリサイクルを実現するウエット処理装置を提供する。【構成】水あるいは支持電解質を含む水っ応益の電気分解部、電気分解液の貯液部、ウエット処理部を少なくとも有する本発明のウエット処理装置は、貯液部の構造として少なくとも液の冷却機構、内面が鏡面である、フッ素樹脂ないし内面フッ素加工、上部に気体を充満させる機構、貯液部外から光が液に当たらない構造等を用いることで電解活性水の長寿命化を実現した。また、電解活性水の特性に見合った加熱機構を採用することで、処理効率の向上、および長寿命化を実現した。さらには、陽極水と陰極水のそれぞれに対して再生部を設けるとともに、電解活性水の性質に見合った再生方法を用い、電解活性水の効率的再生とリサイクルを実現した。

Claim (excerpt)：

電極間に電圧を印加して水あるいは電解質を含む水溶液を電気分解することにより電解活性水を得る電気分解部と、前記電解活性水を貯液する貯液部と、前記電解活性水を用いてウェット処理を行う処理部とを有する電解活性水処理装置おいて、前記貯液部が温調機構を有することを特徴とする電解活性水処理装置。

IPC (3)：

C02F 1/46 ,  H01L 21/304 341 ,  H01L 21/306