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J-GLOBAL ID：200903049476705589
ガラス基板用欠陥検査装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
森田 雄一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993075176
Publication number (International publication number)：1994258232
Application date： Mar. 09, 1993
Publication date： Sep. 16, 1994
Summary：
【要約】【目的】 ガラス基板の表面及び裏面に存在する微粒子等の異物を各々個別に検出し、検出精度を高める。【構成】 検出光をガラス基板に照射しながら走査し、ガラス基板の表面または裏面の異物による散乱光を光学系により検出して前記異物の数や大きさを検出するガラス基板用欠陥検査装置に関する。前記検出光が、ガラス基板Gの表面または裏面上の一点で交叉する第1及び第2のレーザビームL1,L2からなり、光学系14による受光パルスの振幅の相違、及び、ほぼ一定の時間間隔でほぼ同一振幅の2つの受光パルスが発生したことを検出してガラス基板Gの表面及び裏面に存在する異物を各々検出する。
Claim (excerpt)：
検出光をガラス基板に照射しながら走査し、ガラス基板の表面または裏面の異物による散乱光を光学系により検出して前記異物の数や大きさを検出するガラス基板用欠陥検査装置において、前記検出光が、ガラス基板の表面または裏面上の一点で交叉する第1及び第2のレーザビームからなり、前記光学系による受光パルスの振幅の相違、及び、ほぼ一定の時間間隔でほぼ同一振幅の2つの受光パルスが発生したことを検出してガラス基板の表面及び裏面に存在する異物を各々検出することを特徴とするガラス基板用欠陥検査装置。
Patent cited by the Patent：
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