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J-GLOBAL ID:200903049479958410
軟X線用撮像素子
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (1):
篠原 泰司 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1992164897
Publication number (International publication number):1994005831
Application date: Jun. 23, 1992
Publication date: Jan. 14, 1994
Summary:
【要約】【目的】 高感度,高分解能を備え且つ簡便に単色光に近づけることができる軟X線用撮像素子を提供することを目的とする。【構成】 画素電極上に光電変換層12を付設し、該光電変換層12上に表面電極層13を設けた積層型固体撮像素子において、表面電極層13の形成物質が互いに異なる少なくとも二種類の画素A,Bにより構成されている。
Claim (excerpt):
画素電極上に光電変換層を付設し、該光電変換層上に表面電極層を設けた積層型固体撮像素子において、上記表面電極層の形成物質が互いに異なる少なくとも二種類の画素により構成されている軟X線用撮像素子。
IPC (2):
FI (2):
H01L 27/14 K
, H01L 31/00 A
Patent cited by the Patent:
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