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J-GLOBAL ID：200903049505184496
元素分析方法及び元素分析装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
後藤 洋介 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993318185
Publication number (International publication number)：1995174717
Application date： Dec. 17, 1993
Publication date： Jul. 14, 1995
Summary：
【要約】【目的】 分析試料の物質最表面層の非破壊元素分析を可能にする。【構成】 粒子ビームを分析試料11に照射し、この分析試料11から放出される特性X線を利用して、その分析試料11の元素分析を行う元素分析方法において、粒子ビームとして陽電子ビーム発生装置20によって発生された陽電子ビームを使用し、この陽電子ビームをレンズ12及び走査コイル13を介して分析試料11に照射し、分析試料11に入射した陽電子を分析試料11中の原子の電子と対消滅させることによりこの分析試料11中の当該原子を励起状態にして前記特性X線を発生させる。
Claim (excerpt)：
粒子ビームを分析試料に照射し、この分析試料から放出される特性X線を利用して、その分析試料の元素分析を行う元素分析方法において、前記粒子ビームとして陽電子ビームを使用し、この陽電子ビームを前記分析試料に照射し、前記分析試料に入射した陽電子を該分析試料中の原子の電子と対消滅させることによりこの分析試料中の当該原子を励起状態にして前記特性X線を発生させることを特徴とする元素分析方法。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
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