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J-GLOBAL ID：200903049519652174

シート状物の欠陥検査装置

Inventor： 鈴木 孝志 ,  中井 敏雅
Applicant, Patent owner： 住友化学工業株式会社
Agent (1)： 久保山 隆 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998043287
Publication number (International publication number)：1999242006
Application date： Feb. 25, 1998
Publication date： Sep. 07, 1999
Summary：

【要約】【課題】 シート状被検査物の大きさ、厚みに影響されず、常に焦点距離に問題のない、廉価で操作性に優れ、かつ検査精度の高いシート状物の検査装置を提供する。【解決手段】 一定方向に移動するベルト上にシート状被検査物を載置し、これに光源より光を照射して反射散乱光をセンサーで受光し、シート状被検査物に存在する欠陥を検出する装置に於いて、(1)ベルトに通気性素材を用いること、(2)検査位置を通過するベルト下部に、ベルトの走行方向面に垂直或いは略垂直に通気性を有する孔径1mm以下の多孔質物を天板として持つ真空吸引機構を配設し、検査位置を通過するシート状被検査物をベルト下部より吸引する構造を有する欠陥検査装置とする。

Claim (excerpt)：

一定方向に移動するベルト上にシート状被検査物を載置し、これに光源より光を照射して反射散乱光をセンサーで受光し、シート状被検査物に存在する欠陥を検出する装置に於いて、(1)ベルトに通気性素材を用いること、(2)検査位置を通過するベルト下部に、ベルトの走行方向面に垂直或いは略垂直に通気性を有する孔径1mm以下の多孔質物を天板として持つ真空吸引機構を配設し、検査位置を通過するシート状被検査物をベルト下部より吸引することを特徴とするシ-ト状物の欠陥検査装置。

IPC (2)：

G01N 21/89 ,  G01B 11/30

FI (2)：

G01N 21/89 A ,  G01B 11/30 E

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭59-102487
  
• 特開平1-260350
  
• 特開昭62-082343