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J-GLOBAL ID:200903049524341578
電子部品とその製造方法
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
北條 和由
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2000331719
Publication number (International publication number):2002141235
Application date: Oct. 31, 2000
Publication date: May. 17, 2002
Summary:
【要約】【課題】 nHチョークコイルのような周波帯域において使用され、大電流が通電される電子部品であって、小形で必要な特性を備えたものを容易に得る。【解決手段】 電子部品を製造する方法は、支持基板1の上に第一の絶縁樹脂層2を形成する工程と、この第一の絶縁樹脂層2の上に一様に金属膜3を形成する工程と、この金属膜3の上に溝をパターニングしたホトレジスト膜4を形成する工程と、このホトレジスト膜4の溝部分の金属膜3の上に内部導体4を形成する工程と、ホトレジスト膜4を除去する工程と、露出した金属膜3をエッチングにより除去する工程と、この内部導体5を覆うように前記絶縁樹脂層2の上に一体に第二の絶縁樹脂層6を形成する工程と、前記第一の絶縁樹脂層2から支持基板1を除去する工程とを有する。
Claim (excerpt):
樹脂絶縁体に埋設された内部導体(5)を有する電子部品において、内部導体(5)が一体となった第一の絶縁樹脂層(2)と第二の絶縁樹脂層(6)とで挟まれ、それらの中に埋め込まれていることを特徴とする電子部品。
IPC (3):
H01F 37/00
, H01F 17/00
, H01F 41/04
FI (5):
H01F 37/00 D
, H01F 37/00 H
, H01F 37/00 N
, H01F 17/00 A
, H01F 41/04 C
F-Term (5):
5E062DD01
, 5E070AA01
, 5E070AB02
, 5E070CB02
, 5E070CB12
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