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J-GLOBAL ID：200903049530377053

力学量センサーおよび歪抵抗素子及びそれらの製造方法並びに角速度センサー

Inventor： 任田 隆夫 ,  加道 博行 ,  棚橋 一郎 ,  真鍋 由雄 ,  吉田 勝
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 山本 秀策
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995258024
Publication number (International publication number)：1997018070
Application date： Oct. 04, 1995
Publication date： Jan. 17, 1997
Summary：

【要約】【解決課題】加速度センサー、圧力センサー、温度センサーなどに用いられるトンネル効果を利用した高感度な歪抵抗素子等およびその製造方法を提供する【解決手段】微粒子間距離が5nm以下で近接した貴金属からなる微粒子2が、電気絶縁性物質層3中に分散された複合材料に、少なくとも一対の電極4、5を設けることにより構成される。この複合材料はスパッタリング法などで、電気絶縁物質と導電性微粒子とを交互に、あるいは同時に堆積させることにより製造される。

Claim (excerpt)：

電気絶縁性物質層と、該電気絶縁性物質層に接する少なくとも一対の電極とを備えた力学量センサーであって、該電気絶縁性物質層中には、該少なくとも一対の電極間に電圧が印加されている時にトンネル電流を流すように複数の導電性微粒子が分散されており、該導電性微粒子の間隔に関連した力学量を該トンネル電流に基づいて検出する力学量センサー。

IPC (12)：

H01L 49/00 ,  C30B 33/08 ,  G01B 7/14 ,  G01B 7/34 ,  G01L 1/00 ,  G01L 9/04 101 ,  G01N 37/00 ,  G01P 15/08 ,  G01P 15/12 ,  H01L 21/203 ,  H01L 29/84 ,  H01L 21/316

FI (12)：

H01L 49/00 ,  C30B 33/08 ,  G01B 7/14 Z ,  G01B 7/34 Z ,  G01L 1/00 D ,  G01L 9/04 101 ,  G01N 37/00 G ,  G01P 15/08 Z ,  G01P 15/12 ,  H01L 21/203 S ,  H01L 29/84 A ,  H01L 21/316 Y