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J-GLOBAL ID：200903049560649929
表面状態検査装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小谷 悦司 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993014307
Publication number (International publication number)：1994229743
Application date： Jan. 29, 1993
Publication date： Aug. 19, 1994
Summary：
【要約】【目的】 被検査面が湾曲している場合において反射光の拡散を低減し、被検査面の表面状態の検出精度を維持することができる。【構成】 被検査面Wからの反射光を検出手段4で受光することによって被検査面の表面状態を検査する。光源1からの光を収束あるいは拡散させて被検査面Wへ反射する反射ミラー2と、この反射ミラー2の曲率を調整する反射ミラー駆動手段3とを備えた。制御手段7は、記憶手段5に記憶されている被検査面Wの曲率データから被検査面Wの曲率を識別し、この識別手段の識別結果に基づいて被検査面Wの曲率に対応するように反射ミラー駆動手段3を制御する。これにより被検査面Wから検出手段への反射光を略平行光線にする。
Claim (excerpt)：
光源からの光を被検査面に照射する照射手段を有し、上記被検査面からの反射光を検出手段で受光することによって上記被検査面の表面状態を検査する表面状態検査装置であって、上記照射手段を駆動して上記光の収束度あるいは拡散度を調整する調整手段と、上記被検査面の曲率を識別する識別手段と、上記識別手段の識別結果に基づいて、上記被検査面の曲率に対応するように上記調整手段を制御する制御手段とを備え、上記制御手段から上記調整手段へ出力される制御信号に応じて上記被検査面から上記検出手段への反射光が略平行光線になるように上記照射手段を駆動することを特徴とする表面状態検査装置。
IPC (4)：
G01B 11/30
, G01B 11/24
, G01N 21/84
, G01N 21/88
