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J-GLOBAL ID：200903049576805297

マイクロ材料試験装置及びこれによる力学特性評価方法

Inventor：
磯野 吉正

About 磯野 吉正


Applicant, Patent owner：
関西ティー・エル・オー株式会社

About 関西ティー・エル・オー株式会社


Agent (1)： 武石 靖彦 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002006252
Publication number (International publication number)：2003207432
Application date： Jan. 15, 2002
Publication date： Jul. 25, 2003
Summary：
【要約】【課題】 マイクロ材料の力学特性を原形のまま直接高精度に測定し、評価できるマイクロ材料試験装置及びこれによる力学特性評価方法を提供する。【解決手段】 走査型プローブ顕微鏡2の試料ステージ部に、微小試験片1に対して引張り又は圧縮荷重を負荷するためのアクチュエータと、これによる微小試験片1への負荷を検出する手段とを備えた微小引張り・圧縮試験機構3を装備し、引張り又は圧縮負荷による試験片1の微小歪を走査型プローブ顕微鏡2の試料表面観測系を利用して測定する。
Claim (excerpt)：
走査型プローブ顕微鏡の試料ステージ部に、微小試験片に対して引張り又は圧縮荷重を負荷するためのアクチュエータと、これによる微小試験片への負荷を検出する手段とを備えた微小引張り・圧縮試験機構を装備し、引張り又は圧縮負荷による試験片の微小歪を走査型プローブ顕微鏡の試料表面観測系を利用して測定することを特徴とするマイクロ材料試験装置。
IPC (7)：
G01N 3/08 ,  G01B 21/02 ,  G01B 21/30 ,  G01B 21/32 ,  G01N 3/42 ,  G01N 13/10 ,  G01N 13/16
FI (7)：
G01N 3/08 ,  G01B 21/02 Z ,  G01B 21/30 ,  G01B 21/32 ,  G01N 3/42 A ,  G01N 13/10 F ,  G01N 13/16 A
F-Term (25)：
2F069AA43 ,  2F069AA60 ,  2F069AA68 ,  2F069BB40 ,  2F069GG01 ,  2F069GG04 ,  2F069GG07 ,  2F069GG18 ,  2F069GG52 ,  2F069GG62 ,  2F069HH05 ,  2F069HH30 ,  2F069JJ07 ,  2F069JJ25 ,  2F069LL03 ,  2F069PP04 ,  2F069RR03 ,  2F069RR05 ,  2G061AA01 ,  2G061AA02 ,  2G061BA07 ,  2G061CB20 ,  2G061EA03 ,  2G061EA04 ,  2G061EB10
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (5)
  • 高倍率顕微鏡付き材料試験機
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-113406   Applicant：株式会社島津製作所
  • 薄膜強度評価装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-295456   Applicant：凸版印刷株式会社
  • 薄膜状試料観察用治具
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-290743   Applicant：凸版印刷株式会社
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