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J-GLOBAL ID：200903049585657799
機能性薄膜の形成法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
清水 善▲廣▼
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993097280
Publication number (International publication number)：1994287090
Application date： Mar. 31, 1993
Publication date： Oct. 11, 1994
Summary：
【要約】【構成】 主成分が組成式AOx で表される酸化物基材の表面に主成分が組成式BOy で表される酸化物薄膜を形成する機能性薄膜の形成法であって、前記酸化物基材を、加熱により組成式BOy で表される酸化物になる酸化物前駆体と有機物樹脂とを相溶性のある溶媒に溶解してなる溶液に浸漬した後、乾燥、焼成することにより、前記酸化物基材と前記酸化物薄膜の間にA-O-Bなる結合層を形成させて、前記酸化物薄膜を形成する。【効果】 A-O-Bなる結合層を持つ強固な機能性薄膜を比較的低温で形成することができる。形成される酸化物薄膜の特性に合わせて、例えば耐熱材料、触媒、触媒担体等の用途に広く応用できる。
Claim (excerpt)：
主成分が組成式AOx で表される酸化物基材の表面に主成分が組成式BOy で表される酸化物薄膜を形成する機能性薄膜の形成法であって、前記酸化物基材を、加熱により組成式BOy で表される酸化物になる酸化物前駆体と有機物樹脂とを相溶性のある溶媒に溶解してなる溶液に浸漬した後、乾燥、焼成することにより、前記酸化物基材と前記酸化物薄膜の間にA-O-Bなる結合層を形成させて、前記酸化物薄膜を形成することを特徴とする機能性薄膜の形成法。
IPC (3)：
C04B 41/87
, C03C 17/34
, C04B 41/80
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