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J-GLOBAL ID：200903049635146979

平面状基板の洗浄搬送装置及びその装置列

Inventor： 小林 敏
Applicant, Patent owner： 新日本製鐵株式会社
Agent (1)： 國分 孝悦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992097206
Publication number (International publication number)：1993275404
Application date： Mar. 24, 1992
Publication date： Oct. 22, 1993
Summary：

【要約】【目的】 例えばウエハ等の平面状基板を、収納キャリヤや保持チャック等を用いることなく非接触状態で、洗浄しながら搬送することができるようにする。【構成】 上部チャンバ12aと下部チャンバ12bとの間をウエハ1が通過可能な搬送空間13とし、この搬送空間13の上下両側に開孔するように一方向へ傾斜して整列された複数の洗浄液噴射孔14a、14bを上部チャンバ12a及び下部チャンバ12bに設ける。ポンプ22a、22bにより洗浄液2を供給し、上下両側の各噴射孔14a、14bから噴射させる。搬送空間13内でウエハ1の上下両面の複数箇所に洗浄液2が一方向へ傾斜するように噴き付けられるので、ウエハ1が搬送空間13内で浮上されると共にウエハ1に一方向への推進力が付与される。ウエハ1が非接触の状態で洗浄液2により全体的に洗浄されながら搬送空間13に沿って円滑に搬送される。

Claim (excerpt)：

平面状基板が一端から他端へ通過可能な搬送空間を有する洗浄チャンバと、この洗浄チャンバに洗浄液を供給する洗浄液供給手段とを具備し、前記搬送空間の上下両側に開孔するように一方向へ傾斜して整列された複数の洗浄液噴射孔を前記洗浄チャンバに設け、前記搬送空間内において前記基板の上下両面の複数箇所に前記上下両側の各噴射孔から洗浄液を一方向へ傾斜させて噴き付けるように構成した平面状基板の洗浄搬送装置。