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J-GLOBAL ID:200903049647692910

レーザ加工装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 西教 圭一郎 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1992240244
Publication number (International publication number):1994087088
Application date: Sep. 09, 1992
Publication date: Mar. 29, 1994
Summary:
【要約】【目的】 構成が小型かつ軽量な、動特性の優れたレーザ加工装置を提供する。【構成】 レーザ加工装置6は、レーザ光Lを集束してスポット光Sを形成するための平面鏡21,22およびレンズ29から成る光学系と、当該光学系を支持しかつレーザ光Lの光軸20に一致する回転軸Pを有する筐体44と、筐体44を回転軸Pのまわりに角変位させるためのモータ45、駆動歯車46および外歯車47などから成る第1駆動手段と、回転軸Pを含む平面の法線方向を回転軸Qとして平面鏡22を角変位させるためのプーリ31,33、ベルト32およびモータ34などから成る第2駆動手段30などから構成される。
Claim (excerpt):
レーザ光を集束してスポット光を形成するための、複数の反射鏡を含む光学系と、前記光学系を支持し、かつ前記レーザ光の光軸に一致する第1回転軸を有する筐体と、前記筐体を第1回転軸まわりに角変位させるための第1駆動手段と、前記反射鏡の少なくとも1つを、第1回転軸を含む平面の法線方向を第2回転軸として角変位させるための第2駆動手段とを備えたことを特徴とするレーザ加工装置。
IPC (4):
B23K 26/06 ,  B23K 26/00 330 ,  G02B 7/198 ,  G02B 26/10 101
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (1)
  • 特開平2-229688

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