感放射線性樹脂組成物

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：千田稔 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000174043
Publication number (International publication number)：2002006492
Application date： Jun. 09, 2000
Publication date： Jan. 09, 2002
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】実用的な感度を有し、パターン形状、解像性、焦点深度、残膜性に優れ、且つ抜けマージンが良好で、更にパターン側壁の荒れがない特性を有する感放射線性樹脂組成物の提供。【解決手段】 (A)アルカリ可溶性樹脂及び/又はアルカリ難溶性であって酸の作用によりアルカリ可溶性となる樹脂、並びに(B)放射線の作用により酸を発生する化合物を含む感放射線性樹脂組成物であって、該(A)成分を構成する樹脂の繰り返し単位中に下記一般式(1)で表される繰り返し単位を有する樹脂を含有し、且つ式(1)の繰り返し単位の全(A)成分樹脂中の繰り返し単位中に占める割合が25%以下であることを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

Claim (excerpt)：

(A)アルカリ可溶性樹脂及び/又はアルカリ難溶性であって酸の作用によりアルカリ可溶性となる樹脂、並びに(B)放射線の作用により酸を発生する化合物を含む感放射線性樹脂組成物であって、該(A)成分を構成する樹脂の繰り返し単位中に下記一般式(1)で表される繰り返し単位を有する樹脂を含有し、且つ式(1)の繰り返し単位の全(A)成分樹脂中の繰り返し単位中に占める割合が25%以下であることを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【化1】(式中、R1は水素原子又は炭素数1〜10の置換もしくは無置換のアルキル基を表し、R2は炭素数1以上の有機基を表し、R3及びR4は、それぞれ独立して、炭素数1〜12の置換もしくは無置換のアルキル基、炭素数1〜12の置換もしくは無置換のアルコキシ基、炭素数6〜20の置換もしくは無置換のアリール基、炭素数6〜20の置換もしくは無置換のアリールオキシ基、又は炭素数2〜10の置換もしくは無置換のアルコキシカルボニルオキシ基を表す。但し、R3及びR4の少なくとも一方は炭素数1〜12の置換もしくは無置換のアルコキシ基、又は炭素数2〜10の置換もしくは無置換のアルコキシカルボニルオキシ基である。Xは炭素数1以上の二価の有機基を表す)

IPC (12)：

G03F 7/039 601 , C08F210/00 , C08F212/06 , C08F212/14 , C08F216/06 , C08F216/14 , C08F220/02 , C08F220/26 , C08K 5/00 , C08K 5/16 , C08L101/06 , H01L 21/027

FI (12)：

G03F 7/039 601 , C08F210/00 , C08F212/06 , C08F212/14 , C08F216/06 , C08F216/14 , C08F220/02 , C08F220/26 , C08K 5/00 , C08K 5/16 , C08L101/06 , H01L 21/30 502 R

F-Term (85)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA03 , 2H025AB16 , 2H025AC04 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BE10 , 2H025BG00 , 2H025CB14 , 2H025CB16 , 2H025CB41 , 2H025CC20 , 4J002BC011 , 4J002BC041 , 4J002BC121 , 4J002BE041 , 4J002BG011 , 4J002BG041 , 4J002BG051 , 4J002BG061 , 4J002BG071 , 4J002BK001 , 4J002CE001 , 4J002EB016 , 4J002EB026 , 4J002EB046 , 4J002EB086 , 4J002EB096 , 4J002EB116 , 4J002EB126 , 4J002EB136 , 4J002EN027 , 4J002EN037 , 4J002EN067 , 4J002EN107 , 4J002EU047 , 4J002EU077 , 4J002EU186 , 4J002EU196 , 4J002EU237 , 4J002EV216 , 4J002EV246 , 4J002EV296 , 4J002FD310 , 4J002GP03 , 4J002HA05 , 4J100AB00Q , 4J100AB07Q , 4J100AD02P , 4J100AE32Q , 4J100AJ02P , 4J100AJ09P , 4J100AL03P , 4J100AL08P , 4J100AL08Q , 4J100AM43P , 4J100AM45P , 4J100AR09Q , 4J100AR11Q , 4J100BA02P , 4J100BA02Q , 4J100BA03P , 4J100BA03Q , 4J100BA04Q , 4J100BA05Q , 4J100BA06P , 4J100BA06Q , 4J100BA15Q , 4J100BA16Q , 4J100BA20P , 4J100BA22Q , 4J100BC02Q , 4J100BC03Q , 4J100BC04Q , 4J100BC07Q , 4J100BC08Q , 4J100BC09Q , 4J100BC43Q , 4J100BC49Q , 4J100CA04 , 4J100DA01 , 4J100DA04 , 4J100JA38

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