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J-GLOBAL ID：200903049695379425

荷電粒子検出器および荷電粒子検出器の作製方法ならびに荷電粒子検出器を備えた検知装置

Inventor： 田所 孝広 ,  竹内 一浩
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 磯野 道造
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002271376
Publication number (International publication number)：2004107475
Application date： Sep. 18, 2002
Publication date： Apr. 08, 2004
Summary：

【課題】高耐熱性、高計数率、および高時間分解能を有し、経時変化にも強い荷電粒子検出器を開発する。【解決手段】ガラス基板3上にスパッタリングによりガリウム添加酸化亜鉛膜4を堆積させる。この際のターゲットには酸化ガリウムと酸化亜鉛などを用いる。ガラス基板3の裏側の面3aにはガリウム添加酸化亜鉛膜4の蛍光を検出する光電子増倍管6を密着させる。なお、ガリウム添加酸化亜鉛膜4を堆積させたガラス基板3上には、迷光の混入を防止するためにアルミニウムの遮光膜5を形成する。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

酸化亜鉛と酸化ガリウムの混合物をスパッタリングし、ガラス基板または金属枠に挟んだガラス基板上に成膜したガリウム添加酸化亜鉛膜と、前記ガリウム添加酸化亜鉛膜および前記ガラス基板上に成膜させたアルミニウム膜とを有することを特徴とする荷電粒子検出器。

IPC (4)：

C09K11/00 ,  C09K11/08 ,  C09K11/62 ,  G01T1/20

FI (5)：

C09K11/00 E ,  C09K11/08 A ,  C09K11/08 G ,  C09K11/62 ,  G01T1/20 B

F-Term (12)：

2G088EE29 ,  2G088FF06 ,  2G088GG10 ,  2G088GG18 ,  2G088GG19 ,  2G088JJ37 ,  4H001CA04 ,  4H001CA08 ,  4H001CF01 ,  4H001XA08 ,  4H001XA30 ,  4H001XA31